中新网长春6月17日电 (记者 郭佳)记者17日从中国科学院长春光机所获悉，长春⌒测上该所光学系统先进制造重点实验室(中国科学院)中国工程院院士张学军研究团队，光机光学提出了一种基于等效曲面的所超CGH(计算机生成全息图)检测精度校验方法，采用小口径高精★度轮廓仪实现了超大口径非球面反射镜CGH补偿元ξ件标定，大口精度优于λ/150(λ=632.8nm)。径非镜检

基于等效元件的CGH检具测量精度〓校验方法示意图。中国科学院长春光机所制图

据了解，反射超大口径高精度非球面光学反射镜是获新高分辨率空间对地观测、深空探测和天文观测系统的突破核心元件，其制造技术水平对国防安全、长春测上国民经济建设、光机光学基础科研能力而言具有重要意义。所超

超大口径非球面反射镜的大口表面形状往往要求达到纳米级精度，这就对控制其表面形状精度的径非镜检检具「提出了超高要求。目前，球面CGH补偿干涉检测※技术是这一领域唯一且精度最高的检测方法。

针对CGH检具的测量精度标定，广泛使用的方法主要包括制造误差分析、ImitatorCGH以及复合相位CGH检验等，但这些方法并不能ζ对CGH检具的实际衍射波前进行直接检验。比较检验是一种直接的精度检验方法，通过使用两种及以上检测技术测试同一光学元件。然而，对超大口径非球面反射镜的对比检验往往缺乏精度相当的多方法对比测量技术。轮廓检测法是一种具有潜力的高精度检测技术，但会受到测量口径的严重限制。

为突破口径限制，该研究团队提出了一种基于等效元件的CGH检具测量精度校验方法。该技术方案主要包括等效元件制造、比较检验和精度验证三个部分。通过模拟非球面波前传播过程，设计▆小口径等效元件，使其在自准直测量光路中与超大口径非球面反射镜完全等效，进而采用小口径高精度轮廓检测等效元件传递的非球面波前ㄨ基准，解决了超大口径非球面反射镜CGH补偿元件的精度校验难题。

该研究团队指出，该技术为CGH检具的精度验证提供了可行的解决方案，确保了超大口径非球面反射镜的高精度和高可靠性检测。

目前，该技术成果以“Accuracyverificationmethodologyforcomputer-generatedhologramusedfortestinga3.5-metermirrorbasedonanequivalentelement”为题发表在Light：AdvancedManufacturing。中国科学院长春光机所博士生徐凯为论文第一作者，研究员胡海翔、张志宇为论文通讯作者。